Перспективы разработки, создания и использования отечественных систем получения и длительного поддержания сверхвысокого вакуума

Приводятся результаты отечественных разработок, создания и использования на предприятиях страны и за рубежом сверхвысоковакуумных сорбционных и конденсационно-сорбционных насосов, охлаждаемых жидким и твёрдым азотом, а также жидким гелием, которые используются для создания и длительного поддержания уровня рабочих давлений 10-5 – 10-10 Па в камерах объёмом от нескольких десятков литров до нескольких сотен м3.