Новая RGA система для агрессивных радиационных условий

Новая RGA система для агрессивных радиационных условий

Для корректного осуществления анализа газов и газовых смесей в вакуумных камерах и процессах первостепенное значение имеет качество вакуума, которое чаще всего контролируется квадрупольным анализатором остаточных газов (RGA). Проблемы возникают в ситуациях со средами с жесткой радиацией, ввиду потенциальной деградации незащищенных активных электронных компонентов. При этом, как правило, требуется сложная и громоздкая радиационная защита.
Инновационный Hiden HAL 101X RGA уходит от всех стандартных требований радиационной защиты благодаря использованию оригинальной техники, которая полностью исключает применение активных электронных компонентов вблизи вакуумных элементов RGA инструмента. По сравнению со стандартной системой, в данном случае управляющая электроника может располагаться на расстоянии до 80 метров от RGA прибора без уменьшения частоты квадрупольного масс-фильтра с полным 100 а.е.м. диапазоном масс и сохранением высокой производительности.
Отличительные особенности данной системы включают в себя несколько режимов сканирования масс, а также детектирование течей, вычитание фона в режиме реального времени, автоматическую подстройку шкалы масс, онлайн настройку параметров ионного источника и детектора. Также прибор может осуществлять мониторинг отдельных массовых каналов для определения любого отклонения давления от предварительно заданных пользователем уровней срабатывания датчика.

Источник: INTECH